Жартылай өткізгіш қысым датчиктерін екі санатқа бөлуге болады, біреуі жартылай өткізгіштің сипаттамалары (немесе Schottky Nignction) стресстен өзгеруі үшін. Бұл қысымды сезімтал элементтің өнімділігі өте тұрақсыз және едәуір дамымаған. Екіншісі - жартылай өткізгіш пьезориялық әсерге негізделген сенсор, ол жартылай өткізгіш қысым датчигінің негізгі әртүрлілігі болып табылады. Алғашқы күндері жартылай өткізгіштер тартқыштардың мөлшері көбінесе серпімді элементтерге, әр түрлі стресстен және штамм өлшеу құралдарын жасау үшін бекітілді. 1960 жылдары жартылай өткізгішті біріктірілген тізбектің технологиясын дамытумен, пьезорестивті элемент ретінде диффузиялық резистормен жартылай өткізгіш қысым датчигі пайда болды. Мұндай қысым датчигін қарапайым және сенімді құрылымға ие, салыстырмалы қозғалмалы бөліктер жоқ, сонымен қатар қысымға сезімтал элемент және сенсордың серпімді элементі интеграцияланған, бұл механикалық артта қалмайды және сенсордың жұмысын жақсартады.

Жартылай өткізгіштің жартылай өткізгіштерінің пьезорестік әсері сыртқы күшке тән, яғни, қарсылас (символмен ұсынылған), оның күйзелісіне әсер етеді, ол пьезореаралық әсер деп аталады. Бөлім күйзелісінің әсерінен резервудизмнің салыстырмалы өзгеруі пьезореаралық коэффициент деп аталады, ол символмен білдірілген π. Математикалық түрде ρ / ρ = π σ ретінде білдірді.

Мұндағы σ стрессті білдіреді. Стресс кезінде жартылай өткізгішке төзімділіктен туындаған төзімділік мәнінің (R / R) өзгеруі, негізінен, төзімділіктің өзгеруімен анықталады, сондықтан пьезорестивті әсердің өрнегі r / r = πσ.

Сыртқы күштердің әсерінен жартылай өткізгіш кристалдарда белгілі бір стресс (σ) және штамм (ε) жасалады, ал олардың арасындағы қарым-қатынасты жасырын, яғни, яғни, y = σ / ε.

Егер пьезореаралық әсерді жартылай өткізгіштегі штамммен білдірсе, ол r / r = gε.

G Қысым сенсорының сезімталдық коэффициенті деп аталады, бұл қондырғы штаммының астындағы қарсылық мәнінің салыстырмалы өзгеруін білдіреді.

Пьезоресальды коэффициент немесе сезімталдық коэффициенті - жартылай өткізгіш пьезореаралық әсердің негізгі физикалық параметрі. Олардың арасындағы, стресс пен кернеудің арасындағы қарым-қатынастың арасындағы қарым-қатынас жас ерекшелігімен анықталады, яғни G = π y.

Жартылай өткізгіш кристалдардың анизотропиялығына сенімділікпен, жас модулі және пьезориялық коэффициент кристалды бағдармен өзгереді. Жартылай өткізгіштің пьезоризаторлық әсерінің көлемі жартылай өткізгіштің кедергісімен тығыз байланысты. Төзімділіктің төмендеуі, сезімталдық факторы аз. Диффузиялық төзімділіктің пьезориялық әсері кристалды бағдармен және диффузиялық тұрақтылықтың қоспалар концентрациясымен анықталады. Қасқыр концентрациясы негізінен диффузиялық қабаттың беткі қоспалық концентрациясына жатады.