Пьезореаралық сенсордың құрылымы

Бұл сенсорда резисторлық кремний силикон диафрагмасына интеграциялық процесс арқылы интеграциялау процесі біріктірілген, ол кремний пьезоризаторы чипі және осы чиптің шеткі қабығында қабықшаға бекітілген, ал электродтар шығарылады. Пьезорестивті қысым сенсоры, сондай-ақ қатты күйдегі қысым датчигі деп те аталады, сонымен қатар сыртқы күшпен сыртқы күшпен серпімді сезімтал элементтерді сезінуі керек, бірақ силикон диафрагмасы арқылы тікелей әсер етеді.

Кремний диафрагмасының бір жағы - бұл өлшенген қысыммен байланысқан жоғары қысымды қуыс, ал екінші жағы - бұл аз қысым қуысы атмосферамен байланысады. Жалпы, кремний диафрагмі тұрақты перифериясы бар шеңбер ретінде жасалған, ал диаметрі қалыңдыққа шамамен 20 ~ 60 құрайды.

Сонымен қатар, квадрат силикон диафрагмасы және кремний бағанының сенсоры бар. Кремний цилиндрлік сенсоры сонымен қатар силикон цилиндрінің кристалды жазықтығының белгілі бір бағыты бойынша диффузиядан жасалған және екі сценарийдің әсерінен диффузиялардан жасалған және екі сығымдауға қарсы екі сығымдау белдеулері толық көпірді құрайды.

Пьезорестивті сенсор - бұл жартылай өткізгіш материалдың пьезорестік материалына сәйкес жартылай өткізгіш материалдарының субстратымен диффузияға қарсы жасалған құрылғы. Оның субстраты өлшеу сенсоры ретінде тікелей қолданыла алады, ал диффузиялық кедергісі субстратқа көпір түрінде қосылады.

Субстрат сыртқы күшпен деформацияланған кезде, қарсылық мәндері өзгереді және көпір тиісті теңгерімсіз өнім шығарады. Пьезорестивті датчик ретінде қолданылатын субстраттар (немесе диафрагмалар) негізінен кремнийдің вафаландары мен немере вафаландары болып табылады. Силиконның пьезористік датчиктері кремний вафаланстық датчиктері сезімтал материалдар көбірек назар аударды, әсіресе қысым мен жылдамдықты өлшеуге арналған қатты күйдегі пьезориялық датчиктер ең көп қолданылады.