Экскаватор қысымының сенсоры ең көп қолданылатын датчик болып табылады, ол индуктивті күш энергиясы арасындағы газды, сұйықты, қатты және басқа заттарды анықтауға арналған жалпы термин, сонымен қатар мыналарды қамтиды
Жоғарыдағы ауа қысымын өлшейтін манометрлер және төменде ауа қысымын өлшейтін вакуумметрлер. Күш сенсорының көптеген түрлері бар, дәстүрлі өлшеу әдісі - электр инжекциялық қозғалтқыштың қызмет көрсетуін білдіру үшін серпімді элементтердің деформациясы мен жылжуын қолдану, бірақ оның көлемі үлкен, ебедейсіз және шығыс сызықты емес. Микроэлектроника дағдыларының өсуімен, жартылай өткізгіш материалдардың пьезорезистивті әсері мен жоғары серпімділігін қолдану, жартылай өткізгіш күш датчиктерін дамыту, маңызды кремний пьезорезистивті және сыйымдылық екі, олардың шағын өлшемдері, жеңіл салмағы, жоғары сезімталдық артықшылықтары бар, жартылай өткізгіш күште кеңінен қолданылады. сенсорлар. Жартылай өткізгішке кристалға жоғары қарай кернеу түскенде оның меншікті кедергісі өзгереді. Өткізгіш кедергісінің өзгеруі мен кернеу арасындағы байланыс жартылай өткізгіштің пьезорезистивті эффектісі деп аталады, ал осы әсерден жасалған механикалық шама датчигі пьезорезистивті күш датчигі деп аталады, оның екі түрі бар, біреуі жартылай өткізгіштің тензорезистивті датчигі жабынға жапсырылған. жабыстырылған пьезорезистивті сенсор деп аталатын серпімді элемент. Екіншісі - жартылай өткізгіш материалдың астарындағы интегралды схема технологиясымен жасалған диффузиялық кедергі, осылайша тензометр мен кремний субстрат диффузиялық пьезорезистивті сенсор деп аталатын бірдей тұтас сенсорды құрайды. Ол жоғары сезімталдық, жоғары дәлдік, шағын өлшем, жеңіл салмақ, жоғары жұмыс жиілігі, қарапайым құрылым, сенімді жұмыс және ұзақ қызмет ету сипаттамаларына ие.