Hitachi KM11 май қысымы сенсоры EX200-2-3-5

Қысым сенсорының төрт қысым технологиясы

1. Сыйымдылық

Сыйымдылығы бар қысым датчиктеріне әдетте OEM көптеген кәсіби қосымшалары ұнайды. Екі беттің арасындағы сыйымдылықты анықтау Бұл сенсорларды өте төмен қысымды және вакуум деңгейі сезуге мүмкіндік береді. Датчиктің әдеттегі конфигурациясында ықшам корпус екі жақын орналасқан, параллель және электрлік оқшауланған металл беттерден тұрады, олардың бірі, олардың құрамында біршама қысыммен иілуге ​​болатын диафрагма бар. Бұл мықтап бекітілген беттер (немесе плиталар) жинақтың иілімі олардың арасындағы алшақтықты өзгертетін етіп орнатылады (айнымалы конденсаторды қалыптастырады). Нәтижесінде өзгерген өзгерісті (немесе ASIC), ол пропорционалды жоғары деңгейлі сигналды күшейтеді және шығарады.

2.CVD түрі

Химиялық будың тұндыру (немесе «CVD») өндірістік әдісі Молекулалық деңгейде тот баспайтын болаттан жасалған диафрагмаға арналған полисиликон қабаты, осылайша ұзақ мерзімді даторы бар датчик шығарады. Жартылай өткізгішті өңдеудің ортақ партияларын өңдеу әдістері өте қолайлы бағамен керемет өнімділігі бар полисиликоннан жасалған көпірлер жасау үшін қолданылады. CVD құрылымы қымбатқа ие және OEM қосымшаларындағы ең танымал сенсор болып табылады.

3. Шығыс кино түрі

Шығыс пішінді тұндыру (немесе «фильм») датчикті максималды аралықта, гистерез және қайталануы бар сенсор жасай алады. Дәлдік толық көлемдегі 0,08% -ы жоғары болуы мүмкін, ал ұзақ мерзімді дрейф жыл сайын толық масштабтың 0,06% -ға дейін төмен болуы мүмкін. Негізгі құралдардың ерекше қойылымдары - біздің жұқа түсті пленкалық сенсор - бұл қысым ескірген индустриядағы қазына.

4.mms түрі

Бұл датчиктер қысымды өзгерістерді анықтау үшін микро-өңделген кремний (MMS) диафрагмасын қолданады. Кремний диафрагмасы ортадан 316-ға дейін оқшауланған және олар процесстің сұйықтығының қысымымен сериалға реакцияланады. MMS сенсоры жоғары кернеуге төзімділікті, жақсы сызықты, тамаша термиялық соққылар мен ықшам датчик пакетіндегі тұрақтылыққа қол жеткізе алатын жалпы жартылай өткізгіш технологиясын қолданады.