Қозғалтқыштың қысым сенсоры 2CP3-68 1946725 Картер экскаваторына арналған

Қысым сенсорын дайындау әдісі келесі кезеңдерден тұрады:

Артқы беті мен алдыңғы беті бар S1; Пьезорестивті жолақты және вафлидің алдыңғы бетіне қатты доппен байланыс аймағын қалыптастыру; Вафлидің артқы бетіне дейін қысымның терең қуысын қалыптастыру;

S2, вафлидің артында қолдау парағын байланыстыру;

WAFE алдыңғы жағында қорғасын саңылаулары мен металл сымдар мен металл сымдар, ал дәйерестивті жолақтарды бидай тасты көпірі қалыптастыру үшін байланыстырады;

S4, вафлидің алдыңғы бетіне пассивация қабатын салу және қалыптастыру және металл жастықшаны қалыптастыру үшін пассивация қабатының бір бөлігін ашу. 2. S1 талап етілетін 1-талап бойынша қысым датчигін өндіру әдісі келесі қадамдар бойынша: S1: S11: вафлиді артқы беті мен алдыңғы беті бар және вафлиде қысымға сезімтал пленканың қалыңдығын анықтайды; S12: Ион имплантациясы вафлидің алдыңғы бетіне қолданылады, пьезореаралық жолақтар жоғары температуралы диффузиялық процестермен шығарылады, ал байланыс аймақтарында айтылады; S13: вафлидің алдыңғы бетіне қорғаныс қабатын сақтау және қалыптастыру; S14: қысымға сезімтал пленканы қалыптастыру үшін вафлидің артындағы қысым терең қуысын қалыптастыру және қалыптастыру. 3

1962 жылы Tufte et al. Алғаш рет диффекцияланған кремний пьезориялық белдеулері бар пьезориялық қысым датчигін және силикон киношасының құрылымы бар, және пьезореаралық қысым сенсоры бойынша зерттеулер басталды. 1960 жылдардың аяғы мен 1970 жылдардың басында, атап айтқанда, кремний анизотропты анизотропты эстризикалық этизациялық технологиялардың пайда болуы, ион имплантациясы технологиясы және анодикалық байланыстыру технологиясы, қысым сенсорының жұмысын жақсартуда маңызды рөл атқарды. 1980 жылдардан бастап, мысалы, анизотропты игеру, литография, литография, диффузиялық допинг, ион имплантациясы, байланыстыру, байланыстыру және жабын, қысым датчигінің мөлшері үздіксіз азайтылды, сезімталдық жақсарып, өнімділік өте жақсы болды. Сонымен бірге, жаңа микромахингтік технологияны әзірлеу және қолдану пленканың қалыңдығының қалыңдығымен тығыз басқарылады.