Картер экскаваторы үшін қозғалтқыш қысымының сенсоры 2CP3-68 1946725

Қысым сенсорын дайындау әдісі, келесі қадамдарды қамтитын сипатталады:

S1, пластинаны артқы және алдыңғы бетімен қамтамасыз ету; Вафлидің алдыңғы бетінде пьезорезистивті жолақ пен қатты легирленген жанасу аймағын қалыптастыру; Вафлидің артқы бетін ою арқылы қысымды терең қуысты қалыптастыру;

S2, пластинаның артқы жағындағы тірек парағын жапсыру;

S3, пластинаның алдыңғы жағындағы қорғасын саңылаулары мен металл сымдарды жасау және Уитстон көпірін құру үшін пьезорезистивті жолақтарды қосу;

S4, пластинаның алдыңғы бетінде пассивация қабатын салу және қалыптастыру және металл төсем аймағын қалыптастыру үшін пассивация қабатының бөлігін ашу. 2. 1-бапқа сәйкес қысым датчигін жасау әдісі, мұнда S1 келесі қадамдарды қамтиды: S11: пластинаны артқы және алдыңғы бетімен қамтамасыз ету және вафлидегі қысымға сезімтал қабықшаның қалыңдығын анықтау; S12: пластинаның алдыңғы бетінде иондық имплантация қолданылады, пьезорезистивті жолақтар жоғары температуралы диффузия процесі арқылы жасалады, ал байланыс аймақтары қатты легирленген; S13: пластинаның алдыңғы бетіне қорғаныс қабатын салу және қалыптастыру; S14: қысымға сезімтал пленканы қалыптастыру үшін вафлидің артқы жағында қысымды терең қуысты ою және қалыптастыру. 3. Вафли SOI болып табылатын 1-бапқа сәйкес қысым датчигін жасау әдісі.

1962 жылы Туфте және т.б. алғаш рет диффузды кремний пьезорезистивті жолақтары және кремний пленка құрылымы бар пьезорезистивті қысым сенсорын жасап шығарды және пьезорезистивті қысым датчигі бойынша зерттеулерді бастады. 1960 жылдардың соңы мен 1970 жылдардың басында үш технологияның пайда болуы, атап айтқанда кремнийді анизотропты ою технологиясы, иондық имплантация технологиясы және анодты байланыстыру технологиясы қысым сенсорының жұмысын жақсартуда маңызды рөл атқаратын қысым сенсорына үлкен өзгерістер әкелді. . 1980-ші жылдардан бастап анизотропты ою, литография, диффузиялық қоспалау, иондық имплантация, байланыстыру және жабу сияқты микро өңдеу технологиясының одан әрі дамуымен қысым датчигі мөлшері үнемі азайып, сезімталдық жақсарды және өнімділігі жоғары және өнімділігі тамаша. Сонымен қатар, жаңа микро өңдеу технологиясын әзірлеу және қолдану қысым датчигі пленкасының қалыңдығын дәл басқаратын етеді.