06E906051K Passat отынының жалпы рельс қысым датчигіне қолданылады

1. Қысым сенсорын қалыптастыру әдісі, мыналарды қамтиды:

Жартылай өткізгіш субстратта бірінші қабат аралық диэлектрлік қабат, бірінші қабат аралық диэлектрлік қабат және екінші қабат аралық диэлектрлік қабат түзілетін жартылай өткізгіш субстратты қамтамасыз ету.

Бірінші қабат аралық диэлектрлік қабаттағы төменгі электрод тақтасы, төменгі электрод пластинасымен бір қабатта орналасқан және бір-бірінен алшақ орналасқан бірінші өзара электрод.

Қосылатын қабаттар;

Төменгі полярлық пластинаның үстінде құрбандық қабатын қалыптастыру;

Бірінші қабат аралық диэлектрлік қабатта, бірінші өзара байланыс қабатында және құрбандық қабатында жоғарғы электрод пластинасын қалыптастыру;

Құрбандық қабатын қалыптастырғаннан кейін және үстіңгі тақтайшаны қалыптастырмас бұрын, бірінші өзара байланыс қабатында

Жалғау ойығын қалыптастыру, және бірінші қосылыс қабатымен электрлік қосу үшін үстіңгі тақтайшамен жалғау ойығын толтыру;Немесе,

Жоғарғы электродтық пластинаны қалыптастырғаннан кейін жоғарғы электрод пластинасында және бірінші өзара байланыстырушы қабатта байланыстырушы ойықтар пайда болады, олар

Жоғарғы электродтық пластинаны және қосылыс ойығында бірінші өзара байланыс қабатын қосатын өткізгіш қабатты қалыптастыру;

Үстіңгі пластинаны және бірінші өзара байланыс қабатын электрлік байланыстырғаннан кейін, қуысты қалыптастыру үшін құрбандық қабатын алып тастайды.

2. 1-бапқа сәйкес қысым сенсорын қалыптастыру әдісі, мұнда бірінші қабатта

Қабатаралық диэлектрлік қабатта құрбандық қабатын қалыптастыру әдісі келесі қадамдарды қамтиды:

Бірінші қабат аралық диэлектрлік қабатқа құрбандық материал қабатын салу;

Құрбандық қабатын қалыптастыру үшін құрбандық материал қабатын өрнектеу.

3. 2-бапқа сәйкес қысым датчигін қалыптастыру әдісі, мұнда фотолитография және гравюра қолданылады.

Құрбандыққа шалынатын материалдың қабаты ою-өрнекпен өңделеді.

4. Құрбандық қабаты болатын 3-бапқа сәйкес қысым датчигін қалыптастыру әдісі

Материал аморфты көміртек немесе германий.

5. Құрбандық қабаты бар 4-бапқа сәйкес қысым датчигін қалыптастыру әдісі

Материал аморфты көміртек;

Құрбандық материалдың қабатын оюлау процесінде қолданылатын отвар газдарына O2, CO, N2 және Ar;

Құрбандық материал қабатын оюлау процесіндегі параметрлер: O2 ағынының диапазоны 18 SCCM ~ 22 SCCM, ал CO ағынының жылдамдығы 10%.

Ағын жылдамдығы 90 SCCM-ден 110 SCCM-ге дейін, N2 ағынының жылдамдығы 90 SCCM-ден 110 SCCM-ге дейін және Ar ағынының жылдамдығы.

Диапазон 90 SCCM ~ 110 SCCM, қысым диапазоны 90 мтор ~ 110 мтор, ал ығысу қуаты

540w～660w.