Passat жанармайға қатысты, жалпы рельсті қысым сенсоры 06E906051K

1. Қысым сенсорын қалыптастыру әдісі:

Жартылай металлургиялық қабат, бірінші интерлейнерлік диэлектрлік қабат, ал бірінші аралық диэлектрлік қабат және екінші диаграмхана-диэлектрлік қабаты жартылай өткізгіш субстратпен қамтамасыз ету.

Алғашқы диэлектрлік қабаттағы төменгі электродтық плитка, сол қабатта орналасқан алғашқы электрод, сол қабатта орналасқан және бөлек орналасқан.

Қабаттарды қосу;

Төменгі полярлы тақтадан жоғары құрбандық қабатын қалыптастыру;

Бірінші ведомос-диэлектрондық қабаттағы жоғарғы электродтық тақтайшаны қалыптастыру, бірінші өзара байланыс қабаты және құрбандық қабаты;

Құрбандық қабатын қалыптастырғаннан кейін және жоғарғы тақтайшаны бірінші рет қосқаннан кейін

Қосылым ойығасын қалыптастыру және қосылысты жоғарғы тақтайшамен бірінші интерконнекциялық қабатпен электр желісіне қосу; Немесе

Жоғарғы электродты табылғаннан кейін, байланыстыратын ойықтар Жоғарғы электродтағы тақтайшада және бірінші қосалқы қабатта пайда болады

Жоғарғы электродтар тақтасын және бірінші қосалқы қабатты қосылым ойығындағы өткізгіш қабатты қалыптастыру;

Жоғарғы тақтайшаны және бірінші қосалқы қабатты электронды түрде қосқаннан кейін, құрбандық қабатын қуысты қалыптастыру үшін шығарып алыңыз.

2. 1-талап бойынша қысым датчигін қалыптастыру әдісі, бірінші қабатта

Интерлайликалық диэлектрлік қабаттағы құрбандыққа шалатын қабатты қалыптастыру әдісі келесі кезеңдерден тұрады:

Бірінші велекторлық диэлектрлік қабатқа құрбандыққа шалынған материал қабатты сақтау;

Құрбандыққа шалынған қабатты қалыптастыру үшін құрбандық материал қабатын қарсы қою.

3. Қысым датчигін 2-талап бойынша, онда фотолитография және гравировкасы қолданылған.

Құрбандық материал қабаты процестермен өрнекті.

4. Қысым сенсорын құрбандыққа шалдыққан 3-тарауға сәйкес қалыптастыру әдісі

Материал - аморфты көміртегі немесе немероны.

5. 4-талап бойынша қысым датчигін қалыптастыру әдісі, құрбандыққа шалынған қабатқа сәйкес

Материал аморфты көміртегі;

Құрбандыққа шалынған материал қабаттарын алу процесінде қолданылатын газдарды игеру O2, CO, N2 және AR;

Құрбандыққа шалынған материал қабатын алу процесінде параметрлер: O2 ағындары 18 SCCM ~ 22 SCCM, ал коовтің ағынының мөлшері 10% құрайды.

Ағындық мөлшерлеме 90 СКК-дан 110-ге дейін, 110 СКҚ-қа дейін, ал н2 ағынының деңгейі 90 СКҚ-дан 110 СКС-тан 110 СКҚ-қа дейін, ал АӨ-нің ағын-ағындары.

Соза - 90 SCCM ~ 110 SCCM, қысым диапазоны - 90 MTOR ~ 110 MTOR, ал бұрылыс қуаты

540w ~ 660w.